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    厭氧烘箱(無氧烘箱)

    產品詳情

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    高溫無氧無塵烘箱主要應用于半導體、新材料涂膠鍍膜影印前的基片清洗后的前烘烤(Pre baking)、涂膠后的軟烘焙Soft baking),曝光、顯影后的堅膜烘( Hard baking),PI聚酷酷胺等膠水的固化工藝,化、酸、玻璃等材料的潔凈、防氧化烘烤,亦可用于LCD、TFT、COMS、生物、醫藥、光學鍍膜、精密元件干燥等生產工藝以及研發機構。本設備內部采用強制對流風道,加熱控制系統,配合無氧充氮控制系統及在線式氧含量分析系統,結合耐高溫高效過濾HEPA(選配),確保工作室內達到無氧無塵的潔凈防氧化環境。

    技術參數

    產品特點:

    ●外殼:采用1.2mm厚優質冷軋鋼板噴塑處理,表面平整、耐刮傷,易清潔。

    ●內膽:采用2.0~2.5mm厚SUS304# 鏡面不銹鋼材質經滿焊處理,箱內光亮潔凈,密閉性極佳。

    ●管路:內部管路采用無縫不銹鋼管件焊接處理,確保管路無漏氣滲透現象。

    ●氮氣控制:雙流量計節氮系統,雙延時充氮控制,無氧、低氧環境下最大節省氮氣消耗量。

    ●保溫層:內部采用硅酸鋁巖棉保溫材料,防火、阻燃,采用人工填充,厚度80mm

    ●溫控器:采用日本富士智能PID溫度控制器,控溫精準,具傳感器斷線報警、超溫保護,偏差修正等功能。

    ●溫度傳感器:采用進口PT100鉑熱電阻(可選K型熱電偶),精度高,誤差小。

    ●電熱發生器:采用不銹鋼黑熱發生器,壽命長,安全穩定,連續烘烤壽命>10000小時

    ●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

    ●層架:內部蛇腹層架結構,層板高度可任意調節,自由分配箱內空間

    ●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈,防爆安全把手,堅固耐用,易開易關,松緊可調。

    ●密封膠條:采用改性硅橡膠材質,可在高溫環境下長期連續使用,耐老化,密封性極佳

    ●腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動。

    可選組件:

    ●程序升溫:溫度控制系統可升級為可編程多段曲線升溫。

    ●門控系統:電磁鎖確保烘箱加熱過程箱門密閉

    ●風門調節裝置:機械旋鈕式手動風門調節/自動控制二者選一。

    ●氮氣凈化系統:微型油水塵埃過濾組mini fulter,可對氮氣油水、0.1μm顆粒進行過濾

    ●溫度監測聯網:可安裝溫度記錄儀,監測、記錄、打印、聯網

    ●氧含量分析儀:可加配氧含量測試儀,記錄打印

    設備型號FO(C)-2FO(C)-3FO (C)-4FO(C)-5FO ( C)-2DFO (C)-3D
    控溫范圍50~250°C(最高可訂制500°C)
    溫度分辨率0.1℃
    溫度波動度±0.5°C
    溫度均勻度±1.5%(200C恒溫空載測試數據)
    氧含量<10ppm
    潔凈度(選配)選配
    內寸(mm)W*D*H450*400*500600*500*900800*600*1000800*600*1000(600*600*500)*2箱(400*400*400)*3箱
    層架2PCS4PCS
    電源AC380V50HZ
    功率7KW11KW16KW18KW16KW18KW
    定時范圍0~999H/M/S
    送風方式單向水平送風
    升溫時間RT~250C約25min
    控溫方式AD+PID
    結構設計單門,控制柜位于頂部多倉,控制柜位于側面
    內部材料SUS304#
    外部材質鋼板烤漆/拉絲或鏡面不銹鋼
    安全保護措施1.接地保護 2.過載保護 3.相序保護 4.超溫保護  5.獨立限溫保護
    選配7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口);電磁門禁系統溫度校準,多點溫度監控系統,非標訂制服務


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