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    潔凈烤箱

    產品詳情

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    技術參數

    產品簡介:

    ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

    產品特點:

    ●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE

    ●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑

    ●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

    ●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

    ●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。

    ●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

    ●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小

    ●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

    ●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器

    ●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉

    ●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。

    ●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳

    ●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯

    選配組件:

    1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。

    2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔

    3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。

    4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。

    5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。

    6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制
    FDC系列無塵潔凈烘箱規格一覽表:

    產品簡介:

    ENOHK品牌潔凈烘箱(無塵烘箱)-FDC系列采用獨特的內外艙分體結構結合內循環風道設計,通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內部進行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫熱風烘烤環境。產品廣泛應用晶圓片的硬烤、軟烤,LCD、CMOS、IS、醫藥、實驗室、航天航空等眾多工業領域的預熱、老化、烘烤、熱固化、淬火去應力等工藝。

    產品特點:

    ●內膽:采用日制400番2mm厚SUS304#鏡面不銹鋼板材,經堿性蘇打水清潔,去油污避免烘烤時產生 PARTICLE

    ●外殼:采用1.5mm厚 SS41#鋼板經酸洗磷化等防銹處理后噴塑

    ●保溫層:采用正廠一級100K級高密度超凈玻璃纖維材料保溫板,厚度80mm

    ●過濾器:進口耐高溫無邊框超高效過濾器H.E.P.A,》0.1μm顆粒過濾效率99.999%

    ●壓差計:進口壓差計,監控H.E.P.A工作狀態。

    ●溫控器:采用日本歐姆龍液晶數字型PID溫度控制器,控溫精度±0.5% 

    ●溫度傳感器:日制進口CA感應棒±0.5%,精度高,誤差小

    ●鼓風裝置:采用大功率耐高溫長軸減震靜音馬達,大口徑不銹鋼渦輪扇葉,可在高溫環境下長期穩定工作

    ●電熱發生器:覆套式無塵化電熱發生器

    ●風門調節:進口伺服電機自動風門裝置,自動控制風門開關,確保烘烤前后箱內密閉

    ●把手鉸鏈:采用鋅合金合頁鉸鏈門扣,易開易關。

    ●密封膠條:采用改性無氟硅橡膠材質,耐高溫,不易老化,密封性極佳

    ●支撐腳輪:配置4只高承重萬象活動輪,前輪帶剎車,方便移動,同時配置4只水平調整腳杯

    選配組件:

    1.程序控溫:可配置程序型溫度控制器,最大實現99段*99組程序控溫。

    2.測試孔:可在側面加裝Φ35mm測試孔

    3.電磁鎖:安全門控電磁鎖,確保烘烤過程箱門密閉,內部環境不被破壞。

    4.多點溫度記錄:可配置多點溫度記錄儀,打印機或RS485接口,連接打印機或PC設備,監控記錄溫度狀況。

    5.三色指示燈:工作狀態指示燈,待機,運行,故障閃燈光警示。

    6.其它非標訂制:可根據客戶實際需求提供產品訂制
    FDC系列無塵潔凈烘箱規格一覽表:

    設備型號FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
    控溫范圍50~200℃(最高可訂制400℃)
    溫度分辨率0.1℃
    溫度波動度±0.5℃
    溫度均勻度±1.5%(200℃恒溫空載測試數據)
    潔凈度class10/100/1000
    過濾器效率H13~H14
    內部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
    外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
    層架2PCS4PCS
    電源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
    功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
    定時范圍0~99H/M/S
    送風方式單向水平送風
    升溫時間RT~200℃約20min
    控溫方式P.I.D
    結構設計單門,控制柜位于頂部多倉,控制柜位于側面
    內部材料SUS304#
    外部材料鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼
    安全保護措施1.接地保護 2.過載保護3. 相序保護 4.超溫保護 5. 獨立限溫保護
    選配7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口),φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔           電磁門禁系統,溫度校準,非標訂制服務。 



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