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    雙層潔凈無氧烘箱

    產品詳情


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    適用于半導體晶圓后段晶圓片清洗之后的軟烤,硬烤,電鍍工藝,采用SUS304潔凈不銹鋼材質,進口超高效H.E.P.A過濾器,自動開關風門結構,通過內部不斷循環過濾,不斷過濾內部partical快速形成無氧潔凈環境,機臺采用大功率三相靜音低震動馬達,不銹鋼渦輪扇葉,獨特設計渦輪結構,結合雙循環風道,形成風量均勻的循環熱風,實現高潔凈,溫度均勻的無氧烘烤環境,確保烘烤物料受熱均勻,無氧化現象發生。

    技術參數
    設備型號FDC-2FDC-3FDC-4FDC-5FDC-2DFDC-3D
    控溫范圍50~200℃(最高可訂制400℃)
    溫度分辨率0.1℃
    溫度波動度±0.5℃
    溫度均勻度±1.5%(200℃恒溫空載測試數據)
    潔凈度class10/100/1000
    過濾器效率H13~H14
    內部尺寸mmW600*D500*H600W600*D500*H900W800*D600*H1000W800*D800*H1000(W600*D600*H500)*2箱(W400*D400*H400)*3箱
    外部尺寸mmW950*D1180*H1410W950*D1180*H1710W1060*D1280*H1810W1060*D1480*H1660W1630*D1220*H1780W1430*D1020*H1880
    層架2PCS4PCS
    電源AC 220V 50HZAC 380V 50HZ
    功率7KW9KW12KW16KW16KW18KW
    定時范圍0~99H/M/S
    送風方式單向水平送風
    升溫時間RT~200℃約20min
    控溫方式P.I.D
    結構設計單門,控制柜位于頂部多倉,控制柜位于側面
    內部材料SUS304#
    外部材料鋼板烤漆-拉絲或鏡面不銹鋼
    安全保護措施1.接地保護 2.過載保護3. 相序保護 4.超溫保護 5. 獨立限溫保護
    選配7寸觸摸屏HMI人機界面控制器(帶歷史曲線,USB轉存儲功能,配套PC端軟件及聯網端口),φ25mm/φ50mm/φ100mm測試孔           電磁門禁系統,溫度校準,非標訂制服務。 


    0512-55272866
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